実験研究露光装置(uv led) - 企業1社の製品一覧

実験・研究用露光装置

コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライナ）です。

【主な特長】 ・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置 ・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。 ・割れ基板へのオートアライメントが可能。 ・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。 ・UV-LED光源搭載可能 ・レシピ管理機能 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。

• 企業：株式会社大日本科研
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置